Электронно-зондовый микроанализатор это прибор для анализа элементного состава образца, определения концентраций элементов в материале или соединении, картирования распределения элементов и других задач, таких, например, как определение среднего атомного номера в микро- и макрообластях образца. Все аналитические методы реализуются без разрушения образца. Прибор облучает остросфокусированным электронным лучом поверхность исследуемого объекта и регистрирует вторичные электроны, отражённые электроны, спектр и интенсивность характеристического рентгеновского излучения.
Pис. 1: Электронно-зондовый микроанализатор JEOL JXA-iSP100 EPMA
JEOL JXA-iSP100 EPMA – это современный, первоклассный электронно-зондовый микроанализатор (EPMA) исследовательского класса, который обеспечивает как высокое разрешение изображения, так и аналитическое разрешение с очень высоким и стабильным током зонда для оптимальных аналитических характеристик.
Установленная конфигурация спектрометров с волновой дисперсией (WDS) и кристаллов (3 спектрометра, 6 кристаллов), оптимизирована для высокоточного и скоростного анализа элементного состава различных материалов в диапазоне от С до U.
Интегрированная и встроенная система SDD-EDS площадью 30 мм2 с высокой чувствительностью, включая колесо переменной апертуры позволяет одновременную работу со сверхвысоким током луча без ущерба для разрешения энергодисперсионного спектрометра (EDS) и сбора данных EDS в режиме «живого» наблюдения, позволяющего легко находить интересующие элементы.
При использовании JEOL JXA-iSP100 EPMA доступен точечный анализ, анализ по площади, сканирование линий и карт с лучевым сканированием, а также сканирование линий и карт больших площадей со сканированием предметным столиком.
JEOL JXA-iSP100 EPMA оснащен автоматическим шлюзом для обмена образцами со встроенной цветной навигационной камерой, установленной сверху, что обеспечивает легкий доступ к интересующим областям. Для анализа непроводящих образцов имеются вспомогательные установки для напыления токопроводящих покрытий (углерод, и различные металлы, в зависимости от решаемых задач).
