Оже спектрометр

Оже спектрометр

Оже спектрометр JAMP-9500F (JEOL). Параметры: разрешение 3 нм во вторичных электронах, 8 нм — область Оже – анализа, разрешение по энергиям в Оже спектрометре 0.05% до 0.6%, возможность анализа изоляторов с ионной нейтрализацией.

Pис. 1: Оже спектрометр JAMP-9500F

Pис. 2: НВ размером 1мкм в стали. Картирование